環境對INFICON RFS100射頻傳感器的影響
瑞士INFICON射頻傳感器技術為半導體加工工具提供高精度，寬帶，頻率判別的射頻測量。該RF數據可提供有關工藝開發和生產過程問題的實際等離子體條件的詳細信息，從而顯著降低工藝可變性。 這款非侵入式在線電纜安裝RF傳感器是新的優良過程控制原位傳感器套件， 與FabGuard傳感器集成和分析系統相結合 提供關鍵的診斷信息，例如的腔室和過程功率和阻抗測量，故障的根本原因分析（例如匹配網絡問題），腔室匹配的過程指紋識別以及PVD，CVD和蝕刻應用中的晶圓計量建模。
采用FabGuard的INFICON射頻傳感器技術可生成高精度模型，通過測量和執行基波和諧波電壓和電流（包括相角測量）的分析來預測晶圓計量結果，因此工程師能夠控制每個晶圓處理過程中的實際晶圓結果。現在，FabGuard的強大算功能與RF傳感器技術相結合，可基于通過易于理解的用戶界面提供的實時測量和相關性，顯著提高半導體工藝的可重復性，穩定性和準確性。
環境給INFICON RFS100射頻傳感器影響主要有以下幾個方面：
高溫環境對傳感器造成涂覆材料熔化、焊點開化、彈性體內應力發生結構變化等問題。對于高溫環境下工作的傳感器常采用耐高溫傳感器；另外，必須加有隔熱、水冷或氣冷等裝置。
粉塵、潮濕對傳感器造成短路的影響。在此環境條件下應選用密閉性很高的傳感器。不同的傳感器其密封的方式是不同的，其密閉性存在著很大差異。
常見的密封有密封膠充填或涂覆；橡膠墊機械緊固密封；焊接（氬弧焊、等離子束焊）和抽真空充氮密封。
從密封效果來看，焊接密封為佳，充填涂覆密封膠為差。對于室內干凈、干燥環境下工作的傳感器，可選擇涂膠密封的傳感器，而對于一些在潮濕、粉塵性較高的環境下工作的傳感器，應選擇膜片熱套密封或膜片焊接密封、抽真空充氮的傳感器。
在腐蝕性較高的環境下，如潮濕、酸性對傳感器造成彈性體受損或產生短路等影響，應選擇外表面進行過噴塑或不銹鋼外罩，抗腐蝕性能好且密閉性好的傳感器。
電磁場對傳感器輸出紊亂信號的影響。在此情況下，應對傳感器的屏蔽性進行嚴格檢查，看其是否具有良好的抗電磁能力。
易燃、易爆不僅對傳感器造成*性的損害，而且還給其它設備和人身安全造成很大的威脅。因此，在易燃、易爆環境下工作的傳感器對防爆性能提出了更高的要求：在易燃、易爆環境下必須選用防爆傳感器，這種傳感器的密封外罩不僅要考慮其密閉性，還要考慮到防爆強度，以及電纜線引出頭的防水、防潮、防爆性等。
INFICON RFS100射頻傳感器特征：
CVD應用
- 晶圓計量建模（薄膜應力，薄膜厚度）
- 真正的處理室輸出功率的有功功率控制
- FDC（例如等離子體不穩定，充電）
- 室內匹配（RF指紋）
- PVD應用
- 晶圓計量建模（電阻率）
- FDC
- 室內匹配（RF指紋）
- 蝕刻應用
- 晶圓計量建模（蝕刻速率）
- 真正的處理室輸出功率的有功功率控制
- FDC
- 室內匹配（RF指紋）
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